吴晓斌，男，研究员，硕士生导师。2000年毕业于浙江大学光电工程系，获学士学位；2009年1月毕业于清华大学精密仪器系光学工程专业，获博士学位，同年入职光电研究院，历任助理研究员、副研究员、研究员。主要从事极紫外光刻、极紫外真空、精密光电设备的研究工作。曾参与负责了国家自然科学基金、973、863等多项项目，现承担国家科技重大专项02专项5项项目，重点解决材料、真空、热、光源等极紫外光刻技术难点，突破了极紫外真空等基础共性技术。已发表论文20余篇，授权国家发明专利19项，授权实用新型专利35项，申请PCT专利1项，申请国家发明专利19项，申请实用新型专利1项。
http://sourcedb.aoe.cas.cn/zw/rck/201809/t20180918_5084673.html