陈旭南： 男，1944年6月出生。浙江省缙云县人。中共党员，1968年毕业于浙江大学光学仪器专业。现任职于中国科学院光电技术研究所，研究员，博士生导师，中国光学协会会 员，ＳＰＩＥ会员，享受政府特殊津贴。主要业绩：1、完成的ＰCA?100图像彩色分 析仪和AＭＩＳ?1掩模缺陷自动检测系统，分别获得中国科学院科技进步二等奖和一 等奖。负责承担完成的高分辨力CCD拼接相机、实时测量系统多片面阵CCD拼接技术研 究、亚微米i线g线投影光刻物镜和08?1微米分步重复投影光刻机，分别获得中国科 学院科技进步三等奖、三等奖、一等奖和二等奖，其中0.8?1微米分步重复投影光刻 机和亚微米i线线投影光刻物镜还获得了国家科技进步三等奖。2、在国内外刊物上 发表论文五十多篇，申请专利14项。3、负责承担完成中国科学院“八五”重大科研 项目“微电子专用装备技术研究”的“0.7?0.8微米线投影光刻曝光系统”课题和 国家‘八五’科技攻“0.8?1微米分步重复投影光刻机”的研制分别通过了由中国 科学院和国家组织主持的评审与验收。4、目前正承担着中国科学院“九五”重大科 研项目“微电子专用装备技术研究”的关键单元技术研究，并负责承担国家自然科学 基金课题研究。